既然猜到了曲慧极有可能是在双工件台技术上取得了突破,苏远山接下来可就真有点坐不住了。
但他太了解曲慧了。
这姐妹儿,干练豪爽不说,还古灵精怪……既然打定主意要给自己兜圈子,那自己怎么问都是没个结果的。
好在一小时并不长,当他打开一篇最新的石墨烯领域的paper后,时间便迅速流逝起来。
嗯,主要是他现在难得遇到一篇不灌水的石墨烯论文。
……
一小时后,曲慧与郑振川如约而至。
“郑叔,慧姐,好久不见。”苏远山早已在客座沙发旁等着,就连茶都已经准备好了。
“嗯,是有不少时间了。”曲慧出乎意料地留了头发,还梳了个马尾,脖子上围着丝巾。她笑呵呵地坐到苏远山对面。
“这下可以说了吧,到底是什么惊喜——别让我猜啊。”
“其实就是工件台成了。”曲慧一副云淡风轻的表情,端起茶杯吹了口气后笑眯眯地道:“你猜到了是吧?”
“你和郑叔一起过来,不是光刻机的事还能是啥?”苏远山一摊手,笑道:“让我干等了一个小时,再惊的喜也给整没了。”
“害!我就应该给周小慧偷偷打个电话问一下的——对了,周小慧呢?”
“不知道,估计是在天驹那边吧。今天德仪那边刚好有人过来,她去接待一下。”苏远山顿了顿,望向郑振川:“郑叔,别告诉我,你们已经将工件台用在光刻机上了。”
“哈哈,当然没有。”
郑振川放下茶杯,冲苏远山乐道:“你先听小曲的,等会我再说。”
“嗯……”苏远山听到郑振川这语气,顿时心中多了几分“警惕”起来。
这老爷子,语气听起来不对呐!
感情这次不是单纯的“报喜”,似乎还有套等着自己。
不过他依旧不动声色,整个人放松了姿势:“曲慧姐,你说,工件台到底怎么样了。”
“成了,但有点麻烦。”曲慧知道苏远山对光刻机倾注的心血不比晶圆厂少,此刻也不开玩笑,正色了起来:“你知道的,制约国产光刻机精度的最大敌人就是精度。”
苏远山点头:“嗯,不用你说,我就算再不懂机械也知道。”
“精度的最大问题又会最终落在电机控制,材料,加工精度上。”曲慧抿着嘴,慢慢道。
“双工件台的构想是根据华罗庚先生的统筹方法思想而来,原理就是把在曝光过程中处于等待状态下的流程先走一步。实现一个工件台曝光,一边进行测量对准等工作。等到曝光完毕,就可以不用再测量对准,从而直接就可以移动平台,然后曝光。”
“根据我们的估计,在目前的工艺水平下,采用双工件台除了可以提高30%以上的效率之外,还可以略微提高精度——别的不说,10%起码有的。”
苏远山再次点头:“然后呢?”
“我们这次取得的突破,是在运动定位模块和流程控制系统上。”
苏远山听得眉毛一扬!
他哪怕对双工件台的设计和原理再不懂,他也知道,实现双工件台最困难的地方便是运动定位系统,是真正的“牵一发动全身”“差之毫厘,谬之千里”。
而且苏远山还知道,ASML的初代双工件台,其实效率并不十分高,只能说略有提升——就是因为控制系统不成熟。不然也不会直到浸没式光刻机出来之后才正式宣判尼康和佳能死刑。
双工件台技术真正的成熟,还必须等到磁悬浮技术诞生。只有那样,才能把误差缩短到极限。
但一切的前提还是控制系统。
那么……既然都已经取得突破了,还有什么麻烦?
“那麻烦在哪?”
“麻烦在于,我们目前只能实现0.5微米的精度。”曲慧紧缩着眉,凝望着苏远山道:“而且,精度越高,摩擦系数和阻尼作用就越强。我有点担心,它在未来能不能追上光刻机的步伐。”
“我给你坦白吧,目前首精上下普遍都很振奋——我虽然也高兴,也知道不能泼冷水。但如果工件台无法用在最先进的光刻机上,那它的意义就少了许多。”
“还有一点,我们目前的工业基础,只能允许我们做到这个极限。”
苏远山沉默地听着曲慧的介绍,终于明白了她的忧虑在哪。
几秒后,苏远山微笑着摇头:“曲慧姐,其实你们已经很厉害了。”
他这句话不是安慰人,而是真心这样认为。
虽然他很少直接去首都精科那边,但各种支持从来都是不遗余力的。要什么协助给什么协助,就算要机床,他也在前年的时候费尽周折地搞了一台。
所以,双工件台名义上是首都精科一个企业搞的技术,但实际上,却是一个由原首都精密仪器研究所,远芯,志远,清华这四方巨头联合进行的一次技术攻关。
从阵容上,这个团队就已经堪称豪华了。
要知道,搞机械,特别是精密机械,它不比搞程序设计。
程序设计可以叫嚣“只有想不到,没有做不到”,但机械设计还真是,你能想到,但基本上办不到。
双工件台的构思说白了,就如曲慧所说的那样,源自华罗庚老先生的统筹方法——就是在等待烧开水的过程中就把茶杯洗干净,茶叶拿出来丢进杯子里,顺便还拧着暖水壶在一旁等着,只要水开,马上就能泡茶,装水,一气呵成。比等水开了再去找茶叶洗茶杯要节约很多时间。
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