万千的目光再一次刷地射向了山上一郎。
但他毫不在乎。
一个天才的设计方案?就能把Arf193nm的波长变成134nm?
闹着玩呢这是?
台上,苏远山也在看着山上一郎,他知道这位老兄进尼康就在磨玻璃,对光源系统极为熟悉——反正苏远山在光学领域,在对方面前就是小学生级别。
但苏远山毫不在乎,也很能理解山上一郎为什么会在这种场合失态。
别说现在猛地听到远芯保密了三四年的技术,就算是历史上,当林本坚拿着详细的论证找上门的时候,尼康佳能都没正眼看人家一眼,并认为这家伙纯粹就是个疯子,让台积电好好管一管,找点药给他吃。
也就是ASML当时人小势微,虽然被intel拉着进了EUV联盟画了大饼,但在市场上,依旧不敌霓国人,必须弯道超车才能赢得了的样子……所以最终才选择了信任林本坚。
但苏远山也并没有回答山上一郎。
因为他看到,和山上一郎只隔着一个作为的李明柳已经看了过去。
“immersion。”李明柳身子前倾了一点,把自己暴露在了山上一郎的视线中,并给出了个英文单词。
“什么?”听到声音,山上一郎瞬间转头望向李明柳。
“immersion,浸润式光刻。”在远芯诸多技术大佬中,李明柳向来以严肃着称,常年执掌远芯第二大研发基地的他如今身上早就多了几分所谓的“威严”,凡事喜欢点到为止,不想说过多。
惜字如金的两句后,李明柳便恢复了坐姿。
台上,苏远山也只是一笑:“消息我是带到了,信不信那就……好吧,其实我是相信的。”
说完后,苏远山离开讲台,对台下微微鞠躬,然后退场。
直到这时,就如同一盆冰水上丢了一坨烧红的铁块,整个会场瞬间便沸腾了起来。
——和霓国人不一样,国内半导体行业对苏远山有着近似迷信一般的信赖,在先前短暂的懵懂状态后,此刻立刻陷入了兴奋和激动中,会场刹那间便变成了菜市场。
李明柳的声音说得并不大,靠后的与会人员并不能听清,但不妨碍他们挨个拍着前排的肩膀一路问下来。
在一片嘈杂中,山上一郎重新坐了下来。
他脑子慢慢恢复了清醒。
他理智上无法接受,但理智又告诉他,这……极有可能是真的。
因为苏远山,没有必要在这个时候这个场合来骗人。
——因为一旦被证实是假消息,那么非但是苏远山个人的声誉,宏芯的声誉,乃至整个内地半导体行业的声誉,都将受到毁灭性的倒塌。
浸润式光刻?
难道放水里?
疯了吧!
这时,苏远山的声音透过几个座位慢慢传来。
“通过在镜头与衬底之间加入于玻璃折射率接近的水,减小物镜射出的光折射角,从而提升物镜的孔径,提高分辨率。根据CD=K1*λ/NA,用水替代空气后,就相当于193 nm 波长等效缩短到134 nm。”
“而且……它不需要重新研制光刻胶。”
苏远山看着在自己身旁围成一圈的众人,嘴角微微一翘。
“具体的技术和消息,还请大家关注宏芯的相关发布会。”
……
五个小时后,宏芯以浸润式光刻技术攻克193nm光源的消息瞬间传遍了整个半导体行业。
相比行业消息的传播速度,新闻向来要晚一步,但也是在第二天晚上,新闻也正式公布了世界上最先进的光刻机诞生在国内,并成功通过专家组验收的消息。
一时间,宏芯的大门被数不清的媒体踏破,采访的同时,这些媒体也纷纷担起了科普责任,在各个渠道为民众普及起了什么叫光刻机,什么叫晶圆厂,一颗中央处理器又是怎么来的……
至于苏远山,则拒绝了所有的采访邀请,并在半导体峰会结束的第二天便启程前往了硅谷。
浸润式光刻的荣耀就留给该享受荣耀的人好了。
*
*
硅谷,山间别墅。
卡莉风风火火地走进大门,她丝毫不介意苏远山哈欠连天,甚至还穿着拖鞋。便一屁股坐在他的对面,盯着苏远山布满血丝的眼睛问:“BOSS,是真的吗?”
苏远山忍了个哈欠,微笑道:“你就算不相信我们的媒体,你也要相信我啊……马上我们就能拿出65nm的制程工艺,到时候还能造假不成?”
“……”卡莉一阵无语。
她当然愿意相信苏远山,但她问苏远山,并不是不相信的问题,而是……她觉得太不可思议。
“怎么办到的?林本坚的团队是主要团队吗?”
“是,但怎么办到的……我还真不知道。他们研发了三年,攻克了数百个技术节点,嗯……也花了不少钱。”
“量产呢?”卡莉马上问道了关键。
“大概明年就能推出量产型号。”苏远山知道卡莉想问什么,他微微一笑道:“卡莉,我不知道你对晶圆厂那一套技术了解多少……但我可以告诉你,根据目前的推测,浸润式光刻技术的极限甚至可以到7nm线宽——如果EUV无法被攻克,那么在未来很长一段时间内,如何依靠工艺来降低制程,就是晶圆厂的最主要任务。”
“可以到7nm?”
“嗯,多重曝光就行。”
顿了顿,苏远山正色道:“卡莉,你一定要有一个清醒的认识,论制程推进,再没有任何人比德远更有实力和魄力。”
卡莉抿了抿嘴,她倒是很想反驳一下……最后发现什么都反驳不了。
因为这是事实。
她是亲自参与了AT&T与华晶的晶圆厂设备出售一案——而那时,德远还只是工地!
可现在才几年?德远便从0.5微米一路追赶到0.35,0.25,0.13……其速度之快,堪称奇迹。
几秒的冷场,便让苏远山终于忍不住了,他捂着嘴,打了个哈欠。
“卡莉,你看看帮我约一下桑德斯老爷子。”
卡莉回过神来,略一思索便点头,随后问道:“三顾茅庐,这是你的最后一顾?”
“哈哈,是的。对了,最好约到发布会之后,我这两天得好好休息一下才行。”
“说起来,桑德斯老爷子也确实该退休了。”
苏远山一边伸着懒腰,一边笑道。
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